Există trei tipuri de structuri cristaline în nitrură de siliciu (Si3N4), care sunt trei faze ale α, β și γ. Cele două faze α și β sunt cele mai frecvente forme de Si3N4 și pot fi preparate sub presiune normală. Faza γ poate fi sintetizată numai la presiune ridicată și temperatură ridicată, iar duritatea sa poate atinge 35GPa.
Β-Si3N4 hexagonal poate fi combinat direct cu silicon elemental și azot pentru a obține nitrură de siliciu la 1300-1400 ℃:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) pot fi, de asemenea, sintetizați cu diimidă SiCl4 (l) NH 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) NH 4 NH4Cl (s) ) la 0 ℃ În condițiile de 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) + 3 H2 (g) sub 1000 ℃ sau prin reacție de reducere carbotermală sub 1400-1450 ℃ azot ： 3 SiO2 (s) + 6 C (s) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
