Materialele ceramice din nitrură de siliciu au proprietăți excelente, cum ar fi stabilitate termică ridicată, rezistență puternică la oxidare și precizie dimensională ridicată a produsului. Deoarece nitrura de siliciu este un compus covalent cu rezistență mare la legătură și poate forma o peliculă de protecție a oxidului în aer, are și o bună stabilitate chimică. Nu va fi oxidat sub 1200 ° C. Formarea unui film protector la 1200 ~ 1600 ° C poate preveni în continuare. Este oxidat și nu este infiltrat sau corodat de multe metale topite sau aliaje precum aluminiu, plumb, staniu, argint, alamă, nichel etc., dar poate fi corodat de magneziu topit, aliaj de nichel-crom, oțel inoxidabil și alte metale topite.
Materialele ceramice din nitrură de siliciu pot fi utilizate pentru piese tehnice la temperaturi ridicate, materiale refractare avansate în industria metalurgică, piese anticorozive și piese de etanșare în industria chimică, cuțite și unelte de tăiat în industria prelucrării etc.
Deoarece nitrura de siliciu poate forma o legătură puternică cu carbură de siliciu, oxid de aluminiu, dioxid de toriu, nitrură de bor etc., poate fi utilizată ca material de legătură și modificată în diferite proporții.
În plus, nitrura de siliciu poate fi aplicată și asupra celulelor solare cu film subțire. După ce pelicula de nitrură de siliciu este placată prin metoda PECVD, nu poate fi utilizată doar ca film antireflex pentru a reduce reflexia luminii incidente, ci și, în procesul de depunere a filmului de nitrură de siliciu, atomii de hidrogen ai produsul de reacție intră în pelicula de nitrură de siliciu și napolitena de siliciu, a jucat un rol în defectele pasivante.
